Bơm Phân Tử STP-iXA3306C: Giải Pháp Chân Không Cực Cao Cho Ngành Bán Dẫn

Bơm Phân Tử STP-iXA3306C

Giá:
Liên hệ 0903-131-821
Lượt xem:
53

Bơm phân tử STP-iXA3306C là giải pháp lý tưởng để tạo ra môi trường chân không siêu cao, cần thiết trong sản xuất bán dẫn, nghiên cứu khoa học và chế tạo thiết bị công nghệ cao. Với tốc độ bơm đạt (N2: 2650 / Ar: 2300 / H2: 2050) L/s và tỷ số nén đạt (N2, Ar: >108 / H2: >2.0×103), STP-iXA3306C duy trì áp suất chân không siêu cao lên đến 10⁻⁹ Pa, đáp ứng yêu cầu khắt khe của các quy trình tiên tiến.

Tính Năng Nổi Bật và Lợi Ích Vượt Trội

STP-iXA3306C được trang bị những công nghệ tiên tiến, mang lại hiệu suất và độ tin cậy vượt trội:

Thiết kế nhỏ gọn, tích hợp: Bộ điều khiển được tích hợp trực tiếp vào bơm, giúp tiết kiệm không gian lắp đặt và đơn giản hóa quá trình vận hành, bảo trì.
Ổ trục từ tính tự cảm biến tiên tiến: Hệ thống ổ trục từ tính 5 trục kỹ thuật số giúp giảm ma sát và độ rung xuống 50% so với các bơm turbo truyền thống, kéo dài tuổi thọ và đảm bảo hoạt động êm ái.
Khả năng xử lý quy trình ăn mòn: Bơm STP-iXA3306C được chế tạo từ vật liệu chịu ăn mòn cao, cho phép hoạt động ổn định trong các môi trường khắc nghiệt như quy trình khắc plasma.
Tốc độ bơm cao và tỷ số nén ấn tượng: Đảm bảo khả năng hút khí nhanh chóng và hiệu quả, duy trì áp suất chân không siêu cao.
Lắp đặt linh hoạt: Bơm có thể được lắp đặt ở bất kỳ hướng nào, phù hợp với mọi không gian và yêu cầu ứng dụng.
Khởi động nhanh: Thời gian khởi động dưới 10 phút, giúp tối ưu hóa thời gian sản xuất và tăng hiệu suất làm việc.

Ứng Dụng Đa Dạng

STP-iXA3306C là lựa chọn hàng đầu cho các ứng dụng đòi hỏi chân không cao và độ sạch:

Công nghiệp bán dẫn:

Khắc plasma: Đảm bảo áp suất chân không ổn định, tạo chi tiết bán dẫn với độ chính xác cao.
Khắc ECR
Cấy ion

Sản xuất và nghiên cứu vật liệu:

Phủ màng mỏng: Duy trì áp suất 10⁻⁹ Pa, lý tưởng cho vật liệu tiên tiến.
Phún xạ

Nghiên cứu khoa học:

Các ứng dụng yêu cầu môi trường chân không siêu cao và độ ổn định.

Các ngành công nghiệp khác:

Sản xuất nguồn và các ứng dụng chân không cao khác.

Đồ Thị Hiệu Suất Bơm và Kích Thước

Đồ thị hiệu xuất bơm STP-iXA3306C

Bơm Phân Tử STP-iXA3306C mang lại hiệu suất chân không cao, độ tin cậy và tính linh hoạt vượt trội. Với STP-iXA3306C, bạn sẽ nâng cao hiệu suất sản xuất, giảm chi phí bảo trì và đạt độ chính xác tối ưu. Liên hệ ngay để nhận tư vấn miễn phí và báo giá ưu đãi.

Hotline: 0903-131-821 / 0908-889-385
Email: vandatscitech@gmail.com
Website: 49/3 Quốc Lộ 1A, Phường Tân Thới Nhất, Quận 12, Thành Phố Hồ Chí Minh

Vạn Đạt SCI - Đối tác tin cậy trong công nghệ chân không.

Thông Số	Chi Tiết
Model	STP-iXA3306C
Nhà cung cấp	Vạn Đạt SCI
Kích thước mặt bích đầu vào	ISO250F/VG250/ICF305 ISO320F/VG300/ICF356
Kích thước cổng hỗ trợ	KF40
Tốc độ bơm (N₂)	2650 L/s (ISO250F/...) 3200 L/s (ISO320F/...)
Tốc độ bơm (Ar)	2300 L/s (ISO250F/...) 2800 L/s (ISO320F/...)
Tỷ số nén (N₂/H₂)	>10⁸ / 2 x 10³
Áp suất tối đa	10⁻⁷ (10⁻⁹) Pa (Torr)
Áp suất lưng cho phép	266 (2) Pa (Torr)
Lưu lượng khí tối đa (làm mát bằng nước)	N₂: 4000 (6.76) sccm (Pa m³/sec) Ar: 2100 (3.55) sccm (Pa m³/sec)
Tốc độ định mức	27700 vòng/phút
Thời gian khởi động	Dưới 10 phút
Vị trí lắp đặt	Bất kỳ hướng nào
Điện áp đầu vào	200-240V
Công suất tối đa	Không có TMS: 1500VA Có TMS: 1800VA
Trọng lượng	80 kg hoặc 83 kg (tùy cấu hình)