Bơm phân tử Edwards STP-iXA2206C

Bơm phân tử (Turbomolecular pump) Edwards STP-iXA2206C là sự lựa chọn hoàn hảo cho các ứng dụng đa dạng, từ khắc plasma, khắc ECR, đến lắng đọng màng mỏng và các quy trình công nghiệp khác. Với thiết kế nhỏ gọn, tích hợp bộ điều khiển, STP-iXA2206C mang lại hiệu suất vượt trội và độ tin cậy cao.

Đặc điểm nổi bật:

• Thiết kế nhỏ gọn, tích hợp bộ điều khiển: Tiết kiệm không gian lắp đặt và đơn giản hóa việc vận hành.
• Hệ thống ổ trục từ tính tự cảm biến tiên tiến: Đảm bảo hoạt động êm ái, giảm thiểu độ rung và tăng tuổi thọ bơm.
• Điều khiển kỹ thuật số 5 trục: Cung cấp khả năng kiểm soát chính xác và linh hoạt.
• Giảm độ rung 50%: Bảo vệ hệ thống và cải thiện chất lượng sản phẩm.
• Tương thích với các quy trình ăn mòn: Mở rộng khả năng ứng dụng trong các môi trường khắc nghiệt.
• Dễ dàng lắp đặt: Tiết kiệm thời gian và chi phí.
• Không sử dụng dầu: Ngăn ngừa ô nhiễm và đảm bảo môi trường làm việc sạch.

Ứng dụng:

• Khắc plasma
• Khắc ECR
• Lắng đọng màng mỏng
• Phún xạ
• Bơm chùm tia & trạm
• Nguồn ion cấy ghép